英微米表面微粒分析儀U-III該產品專為高潔凈度制造場景設計，采用革命性激光傳感技術與智能采樣系統，可精 準檢測0.1微米級表面顆粒污染，助力半導體、液晶面板及精密電子行業實現更高良率與可靠性。
核心技術原理
界面顆粒再懸浮技術?：采用先進界面技術，通過物理或氣流方式將附著在關鍵表面的顆粒重新懸浮，便于后續檢測。
高精度光學檢測：基于激光光學傳感器和光散射原理，實時捕獲懸浮粒子的散射光信號，實現單個粒子尺寸的精確分析。
關鍵性能指標
分辨率達0.1微米，支持納米級顆粒檢測；
配備靜態采樣模式，提升測量精度和穩定性；符合ISO-14644-9表面粒子控制標準，滿足半導體制造中對潔凈度的嚴苛要求。
行業應用優勢
減少50%以上的自凈時間及顆粒數，縮短PM周期，提升制造效率；
通過實時監測表面污染，降低因顆粒導致的良率損失和可靠性風險；
適用于晶圓、光學元件、精密電路板等對潔凈度敏感的生產環節。
系統集成設計
支持USB數據導出和軟件升級，便于與工廠智能管理系統對接；
采用雙電池熱插拔設計，適應連續生產環境的需求。
該系列設備通過量化表面污染數據，為半導體制造中的過程控制提供標準化依據，從而優化生產良率和產品可靠性。
傳感器：第七代雙激光窄光檢測器，壽命>200000次
測量粒徑：A 0.3um、2.5um、10um；
B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um；
C 0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um；
D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um；
E 0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um；
F 0.10um、0.2um、0.25um、0.5um、0.7um、1.0 μm;
粒徑分布誤差：≤±30%
濃度示值誤差：≤±30%
重復相對偏差：≤±10%FS
重疊誤差：當每立方英尺2,000,000個粒子時小于5%
氣體檢測：可同時檢測氣體濃度，支持1-3個各種類型的氣體傳感器
溫度范圍：-40 ～ 120℃
檢定標準：計數報告符合GB/T16292-1996及ISO14644-1標準或GB/T6167-2007 JJF1190-2008
氣泵流速：2.83L/min，28.3L/min（可選）；
采樣時間：3、6、9、12、15、30、60秒（可選）；
檢測模式：數量模式；質量模式； 凈效模式；三種檢測模式可切換
檢測方式：定時檢測、循環檢測可設置
報警方式：自定義數量報警值、質量報警值
限值報警：RS485信號報警或外接聲光報警器
法 規 性：權限管控、審計追蹤、電子記錄等
來源：英微米光電(武漢)有限公司
來源鏈接：https://www.instrument.com.cn/netshow/SH119044/C602959.htm
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